FlexAL 原子層沉積（ALD）

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原子層沉積（ALD）

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

價格區(qū)間	面議	應用領域	能源,電子/電池,電氣

在同一設備中可靈活使用遠程等離子體與熱ALD
集群式配置保證始終于真空下傳送襯底
盒式對盒式操作可提高產能以適于量產
對材料和氣體/液體源的選擇具有更大的靈活性
等離子體ALD可進行低溫工藝
使用遠程等離子體以確保低損傷
通過配方驅動的軟件界面實現(xiàn)可控的和可重復的工藝
可處理高達200mm的晶圓
牛津儀器有大量的工藝儲備，并且還在不斷開發(fā)新的工藝。我們?yōu)樗械腁LD設備提供延續(xù)不斷的工藝支持，我們還將為您提供關于開發(fā)新材料的建議，同時繼續(xù)與您共享包括新工藝配方在內的新的ALD工藝進展。
氣體/液體源前驅體模式上 - 一體化手套箱 —— 實時轉換
一體化端口 - 允許添加實時橢偏儀測量工具
集群式配置 - 始終于真空下傳送襯底
盒式對盒式操作 - 可提高產能以適于量產
機器手臂與片盒式 - 可處理100mm，150mm或200mm晶圓（無需額外設備進行晶圓交換）
所有系統(tǒng)都可以放置于超凈間內或嵌入墻體 - 易于放置
自動化的200mm晶圓真空傳送 - 工藝靈活性