FlexAL 原子層沉積（ALD）

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品標(biāo)簽

原子層沉積（ALD）

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

冷熱臺(tái)，快速退火爐，光刻機(jī)，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

價(jià)格區(qū)間	面議	應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子,電氣

在同一設(shè)備中可靈活使用遠(yuǎn)程等離子體與熱ALD
集群式配置保證始終于真空下傳送襯底
盒式對(duì)盒式操作可提高產(chǎn)能以適于量產(chǎn)
對(duì)材料和氣體/液體源的選擇具有更大的靈活性
等離子體ALD可進(jìn)行低溫工藝
使用遠(yuǎn)程等離子體以確保低損傷
通過(guò)配方驅(qū)動(dòng)的軟件界面實(shí)現(xiàn)可控的和可重復(fù)的工藝
可處理高達(dá)200mm的晶圓
牛津儀器有大量的工藝儲(chǔ)備，并且還在不斷開(kāi)發(fā)新的工藝。我們?yōu)樗械腁LD設(shè)備提供延續(xù)不斷的工藝支持，我們還將為您提供關(guān)于開(kāi)發(fā)新材料的建議，同時(shí)繼續(xù)與您共享包括新工藝配方在內(nèi)的新的ALD工藝進(jìn)展。
氣體/液體源前驅(qū)體模式上 - 一體化手套箱 —— 實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)換
一體化端口 - 允許添加實(shí)時(shí)橢偏儀測(cè)量工具
集群式配置 - 始終于真空下傳送襯底
盒式對(duì)盒式操作 - 可提高產(chǎn)能以適于量產(chǎn)
機(jī)器手臂與片盒式 - 可處理100mm，150mm或200mm晶圓（無(wú)需額外設(shè)備進(jìn)行晶圓交換）
所有系統(tǒng)都可以放置于超凈間內(nèi)或嵌入墻體 - 易于放置
自動(dòng)化的200mm晶圓真空傳送 - 工藝靈活性