TurboDisc EPIK 868 金屬有機化學氣相沉積MOCVD

1.產(chǎn)品概述：

Veeco 提供了一系列行業(yè)的 GaN 和 As/P 金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD) 系統(tǒng)，提高吞吐量，同時降低包括顯示器、3D 傳感、LiDAR、微型 LED 顯示器和光學數(shù)據(jù)通信在內的各種應用的擁有成本。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢：

最大的資本效率和占地面積節(jié)省，提供優(yōu)秀的性能

出色的均勻性與低缺陷率

緊湊型集群架構

高吞吐量體系結構，實現(xiàn)最大生產(chǎn)

3.產(chǎn)品工藝：

Veeco 的 EPIK® 868 是 LED 業(yè)界最高性能的金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD) 系統(tǒng)，可實現(xiàn)出色的均勻性和可重復性，以及低缺陷率。EPIK 868 擁有四反應腔配置并采用突破性技術，包括專有的 IsoFlange™ 和 TruHeat™ 技術，其可在整個晶片載體上提供層流和均勻的溫度曲線。這些技術創(chuàng)新推動了迷你和微型 LED 所需的更高產(chǎn)量。EPIK 固有的 868 TurboDisc® 技術可實現(xiàn)最高的系統(tǒng)可用性和正常運行時間。EPIK 868 高容量承載盤專為大批量生產(chǎn)設計，擁有成本容納多個 4”或 6” 晶片尺寸。客戶可以很輕松地從現(xiàn)有的 TurboDisc 系統(tǒng)切換到新的 EPIK 868 金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD) 平臺，從而快速啟動高品質迷你和微型 LED 的生產(chǎn)。