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ICP-500D 薄膜沉積CVD

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) ICP-500D
  • 產(chǎn)地 德
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/10/12 15:04:52
  • 訪問(wèn)次數(shù) 145

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公司自成立以來(lái)就一直專(zhuān)注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù)；目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富的專(zhuān)業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，專(zhuān)業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝（TSV、Fan-out等）、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測(cè)、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備，還能根據(jù)客戶的實(shí)際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系（如：BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等），為向客戶提供先進(jìn)的設(shè)備和專(zhuān)業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備，微組裝設(shè)備，LTCC設(shè)備，化工檢測(cè)設(shè)備

SENTECH ICP等離子沉積系統(tǒng)-SI 500D

 

是主流的半導(dǎo)體設(shè)備商，研發(fā)、制造和銷(xiāo)售良好的薄膜測(cè)量?jī)x器（反射儀、橢偏儀、光譜橢偏儀）和等離子工藝設(shè)備（等離子刻蝕機(jī)、等離子沉積系統(tǒng)、用戶定制系統(tǒng)）。

SI 500D等離子沉積系統(tǒng)是ICP-PECVD設(shè)備，利用ICP高密度等離子源來(lái)沉積電介質(zhì)薄膜?？稍跇O低溫度下(< 100ºC)沉積高質(zhì)量SiO2, Si3N4, 和SiOxNy薄膜?？梢詫?shí)現(xiàn)沉積薄膜厚度、折射率、應(yīng)力的連續(xù)調(diào)節(jié)。

 

 

SI 500 D主要特點(diǎn)：

  • 適用于8寸以及以下晶片

  • 低溫沉積高質(zhì)量電介質(zhì)膜：80°C~350°C

  • 高速率沉積

  • 低損傷

  • 薄膜特性 (厚度、折射率、應(yīng)力) 連續(xù)可調(diào)

  • 平板三螺旋天線式PTSA等離子源 (Planar Triple Spiral Antenna)

  • SENTECH高級(jí)等離子設(shè)備操作軟件

  • 穿墻式安裝方式

 

系統(tǒng)配置：

 

 



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