MKS(ENI) 射頻電源 ACG-6B 13.56MHz 600W 提供一套緊湊、輕量級的射頻產(chǎn)品，具有各種用戶界面和功能，包括自動頻率調(diào)諧、快速瞬態(tài)恢復(fù)和脈...

射頻電源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW 是一款緊湊、輕量級的射頻產(chǎn)品，具有各種用戶界面和功能，包括自動頻率調(diào)諧、快速瞬態(tài)恢復(fù)和...

MKS 高頻射頻電源 GEW-3540 40.68MHz 3000W 射頻發(fā)生器 是一款堅固耐用的射頻電源，用于等離子蝕刻，CVD和濺射應(yīng)用，具體精確的電源控制...

MKS 遠(yuǎn)程等離子體源 ASTRON HF 15L RPS 是沉積和蝕刻室清潔工藝的關(guān)鍵子組件，消除了工藝副產(chǎn)物從室壁積聚，增加工藝工具的壽命，并減少薄膜污染的...

MKS 射頻電源 Elite 750 RF Generator 射頻電源是一款經(jīng)過長期驗(yàn)證的具有穩(wěn)定輸出和高可靠性的射頻發(fā)生器，整體設(shè)計小巧緊湊，能夠有效地幫助...

MKS 高頻射頻電源 EDGE 10060A-E13 RF Generator 是經(jīng)過長期實(shí)機(jī)驗(yàn)證的具有高可靠性和穩(wěn)定輸出的高性能射頻電源，廣泛應(yīng)用于CVD、P...

MKS 高頻射頻電源 EDGE 210R40A-G02 400KHz是經(jīng)過長期驗(yàn)證的高性能射頻發(fā)生器，能夠提供持續(xù)穩(wěn)定的射頻輸出，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造中。

MKS 射頻電源 EDGE30R40A 400KHz 2500W 是一款性能穩(wěn)定可靠性高的射頻電源，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中，整體采用了緊湊設(shè)計，小巧緊湊，能夠有...

MKS 射頻電源 EDGE4001A 3000W RF Generator 是性能優(yōu)良輸出穩(wěn)定的射頻電源，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造工藝中，有優(yōu)秀的成膜能力，整體采取...

MKS 射頻電源 LVF3527A 27MHz 3500W RF Generator是具有穩(wěn)定輸出能力的高性能射頻電源，廣泛應(yīng)用于蝕刻、CVD、PVD濺射等半導(dǎo)...

MKS 射頻電源 LVG3527A 27MHz 3500W RF Generator 是經(jīng)過長期驗(yàn)證的穩(wěn)定可靠的高性能射頻電源，具有優(yōu)秀的成膜能力，廣泛應(yīng)用于半...

ENI 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 MWH-100 13.56MHz 10KW 是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗(yàn)證的射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程工藝中。

MKS 射頻電源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz 5000W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗(yàn)證的具有優(yōu)良性能和高可靠性的優(yōu)秀...

ENI 高頻射頻電源 DOFBC2-083 27MHz RF Generator 是經(jīng)過長期現(xiàn)場驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源。

MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF Generator 是經(jīng)過長期現(xiàn)場驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源。

MKS Revolution RPS AX7690 遠(yuǎn)程等離子源是一款能為半導(dǎo)體芯片加工提供所需的高性能和清潔的活性氣體源的集成式遠(yuǎn)程等離子體源。