化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>制樣/消解設(shè)備>電子束刻蝕系統(tǒng)>NE-550 ICP 刻蝕機(jī) :高密度等離子蝕刻裝置NE-550
NE-550 ICP 刻蝕機(jī) :高密度等離子蝕刻裝置NE-550
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) NE-550
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/9/25 13:35:59
- 訪問(wèn)次數(shù) 1837
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 150萬(wàn)-200萬(wàn) |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
ICP 刻蝕機(jī) :高密度等離子蝕刻裝置NE-550
特點(diǎn):
等離子密度與向基板入射的能量能夠單獨(dú)控制,因此Process window寬。
均一性好。
離子性蝕刻到radical性蝕刻都能都大幅度控制。
構(gòu)造簡(jiǎn)單,維護(hù)性能*。
來(lái)自半導(dǎo)體技術(shù)研究所的工藝支持體制。
CS(Customer’s Support )解決方案的綜合服務(wù)體制。
可選Cassette室,提高生產(chǎn)量。
豐富的Process Application:
1.ISM: Inductively Super Magnetron有磁場(chǎng)ICP型
2.ISM是可以由低電源得到穩(wěn)定均一的放電,達(dá)到Damage少的蝕刻。
3.使用不揮發(fā)性材料的次時(shí)代memory‐Al2O3,磁性體,Pt, Ir, PZT, SBTO 等
4.超高頻率器件,光器件。
‐絕緣膜,GaAs/AlGaAs(In),AlGaInP,InP,SiC,ZnSe, Sapphire,GaN,STO/Pt, Au/Pt, W, WSi, Ti, Mo, Ta, BCB, Polyimide,BST, STO
5.各種傳感器器件等Photo Nic結(jié)晶。
6.MEMS(micromachine)
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