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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>制樣/消解設(shè)備>電子束刻蝕系統(tǒng)>NE-550 ICP 刻蝕機(jī) :高密度等離子蝕刻裝置NE-550

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NE-550 ICP 刻蝕機(jī) :高密度等離子蝕刻裝置NE-550

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) NE-550
  • 產(chǎn)地 北京
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/9/25 13:35:59
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1837

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公司自成立以來(lái)就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測(cè)、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實(shí)際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進(jìn)的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測(cè)設(shè)備

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 150萬(wàn)-200萬(wàn)
應(yīng)用領(lǐng)域 電子

ICP 刻蝕機(jī) :高密度等離子蝕刻裝置NE-550

 

 

特點(diǎn):

等離子密度與向基板入射的能量能夠單獨(dú)控制,因此Process window寬。

均一性好。

離子性蝕刻到radical性蝕刻都能都大幅度控制。

構(gòu)造簡(jiǎn)單,維護(hù)性能*。

來(lái)自半導(dǎo)體技術(shù)研究所的工藝支持體制。

CSCustomer’s Support )解決方案的綜合服務(wù)體制。

可選Cassette室,提高生產(chǎn)量。

 

豐富的Process Application

1.ISM: Inductively Super Magnetron有磁場(chǎng)ICP

2.ISM是可以由低電源得到穩(wěn)定均一的放電,達(dá)到Damage少的蝕刻。

3.使用不揮發(fā)性材料的次時(shí)代memory‐Al2O3,磁性體,Pt, Ir, PZT, SBTO

4.超高頻率器件,光器件。

絕緣膜,GaAs/AlGaAs(In),AlGaInP,InP,SiC,ZnSe, Sapphire,GaN,STO/Pt, Au/Pt, W, WSi, Ti, Mo, Ta, BCB, PolyimideBST, STO

5.各種傳感器器件等Photo Nic結(jié)晶。

6.MEMS(micromachine



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