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產(chǎn)品簡介
濕法刻蝕系統(tǒng)廠家提供詳細的構造,特點信息。
詳細介紹
濕法刻蝕系統(tǒng)的設備是由全白色聚丙烯構造，可內置任何旋涂機及顯影機，排放簡便的入氮口和DI噴頭，如果需要單工的系統(tǒng)，可選擇WS-1000M濕法刻蝕設備，WS-1000系列旋轉處理濕法設備可以被配置成測試模塊構造，安裝簡便，易于拆卸，更便于操作者控制。
濕法刻蝕系統(tǒng)的設備特點：
● 全PP材質構造
● 可集成Laurell勻膠旋涂系統(tǒng)
● 有排孔的濕站操作臺 (易清潔)
● 特殊設計的濕站壓力系統(tǒng)Wet plenum
● 帶流量計的排液管道
● 各類組件的隔離設計（散熱原件，泵浦和壓力容器等）
的設備材料選擇：可以根據(jù)應用選擇更高級的材料；
● WS-1000-CP5 符合SEMI S93標準應用在消防安全和潔凈空間等領域。CP5符合UL94 V-O 火災分類標準。它具有優(yōu)良的平衡的物理性能，耐化學藥品性和耐火性。
● WS-1000-CP7-D的材料阻燃特性符合zui嚴格的FMRC 4910測試標準，滿足多方面條件下的難燃性，自熄特點和*燃燒。這種*進的材料也達到或超過產(chǎn)生低煙和zui小毒副產(chǎn)品的檢測標準。