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PlasmaPro 100 Nano 等離子增強化學氣相沉積

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 OXFORD/英國牛津
  • 型號 PlasmaPro 100 Nano
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/8/12 11:13:24
  • 訪問次數(shù) 230
產(chǎn)品標簽

薄膜生長

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

  • 更佳的均勻性以及靈活的溫度范圍， 最高可達1200°C

  • 700°C、800°C或1200°C工作臺可供選擇

  • 樣品尺寸可達200mm

  • 真空傳送腔——快速更換樣品

  • 冷壁設計并輔以可均勻輸送氣體/液體源前驅體的噴頭

  • 可選的液體/固體源前驅體輸送系統(tǒng)，用于生長MOS2、MOSe2和其它TMDCs材料

應用：

  • 二維材料 生長

  • MoS2 生長

  • 石墨烯 生長

  • 一維材料 生長

  • 碳納米管（CNT）生長

  • 氣柜 —— 包含額外的氣體管線，提供更大的靈活性

  • 渦輪分子真空泵 —— 提供泵送速度加快氣體的流動速度

  • 光學終點探測—— 實現(xiàn)更好工藝結果的重要工具

  • TEOS液位傳感 —— 使用安裝在TEOS罐上的超聲波液位傳感器實現(xiàn)液位傳感






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